科技东莞5周年中镓半导体：打造LED高端领域领军企业李治邦在低碳经济风行全球的大背景下，LED产业作为21世纪的朝阳产业，以其节能、安全、长寿、稳定等突出特点广受瞩目。东莞市把LED产业列为重点培育的战略性新兴产业之一，未来5年至少将投入25亿元重点扶持LED产业发展。此前出台的《东莞市推进LED产业发展与应用示范工作实施方案》明确提出，未来要重点支持中镓氮化镓（GaN）基衬底材料产业化基地等重大科技项目发展。东莞市中镓半导体科技有限公司实现跨越式发展迎来了难得的历史机遇。注重研发催生无限活力“研发是企业的生命，人才是科技的代表。”东莞市中镓半导体科技有限公司董事长陈健民如此表述研发和人才对于科技企业的重要意义。中镓公司总部位于东莞市企石镇科技工业园，总部厂房及办公区面积达1.7万多平方米；该公司还在北京设立了面积达1000平方米的大型研发中心。作为我国首家专业生产氮化镓基衬底材料的企业，中镓公司在LED相关高精密设备制造等方面具有雄厚的实力。该项目还被确定为东莞市2010年重点投资项目，投资额达1亿多元，具有良好的经济和社会效益。中镓公司创造性地采用MOCVD（金属有机物化学气相沉积）技术、激光剥离技术、HVPE技术相结合的方法，研发生产的产品包括GaN基衬底、GaN／Al2O3复合衬底和图形化蓝宝石衬底（PSS）以及生产上述产品的设备，如激光剥离设备等。

    拥有多项技术的自主知识产权是中镓公司在国内外竞争中能够处于优势地位的重要保证。中镓公司在重视研发的同时，非常重视发挥人才的重要作用。该公司已聘请著名物理学家、中国科学院院士、北京大学教授甘子钊为公司咨询委员会主席，聘请北京大学宽禁带半导体研究中心主任张国义教授为公司总经理、北京大学宽禁带半导体研究中心副主任童玉珍副教授为公司副总经理、日本千叶大学工学博士秦志新副教授为中镓公司北京研发中心负责人。同时，中镓公司建立了氮化镓基衬底、图形化蓝宝石衬底、外延芯片、蓝光激光器等多条研发生产线，掌握GaN外延层的大面积、低功率激光剥离技术，拥有固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底等多项技术专利。截至目前，中镓公司拥有国家授权的发明专利3项，申请发明专利3项，申请PCT国际专利1项。目前该公司正与北京大学联合申报国家863计划重点项目。依靠创新建立领先平台重视建设和引进创新型人才队伍是中镓公司得以快速发展的关键。广东省首批引进了12个战略性新兴产业创新科研团队，中镓公司的宽禁带半导体研究中心团队就是其中之一。

    该团队是由9名老中青学者组成的科研队伍，由甘子钊率领，主要研究方向为氮化物材料生长和器件研究，团队整体科研实力达到世界一流水平，是目前全球少数几个掌握氮化镓基衬底材料产业化技术的团队之一。中镓公司引进这一团队成功填补了国内半导体上游氮化镓基衬底材料产业链上的缺口。该团队在中镓公司从事研发生产，负责筹建东莞北大中镓半导体研发中心，推动东莞成为我国氮化物半导体研发、生产基地，还将争取用5年左右时间，为东莞培养一支自主研发队伍。对于带领团队“落户”中镓公司，甘子钊表示：“光电行业是一个知识比较密集的行业。我们要通过创新不断提高整支队伍的素质，促进企业生产技术的成熟与进步。在这一基础上再充分利用中镓公司位于珠三角腹地，毗邻深圳、香港等便利条件，在重视自主研发的同时有效引进海外优势技术。这不仅能实现中镓公司的快速发展，也能推动东莞及珠三角LED产业的进步，甚至在全国起到带头作用。”先进技术奠定市场优势第2页共2页当前，对于东莞乃至全国而言，光电产业已成为业界焦点。东莞在LED封装领域的优势十分突出，但从整个产业链来看，主要集中在下游环节，在生产设备、衬底材料、外延片、芯片等上中游环节与国际水平差距明显。“一条完整的LED产业链由几个环节构成，从上游的衬底材料、外延片和芯片制造到中游的封装再到下游的应用，都不可或缺。因此，如何从下游走向上游、从低端走向高端，决定着东莞LED产业未来的发展前景。”曾担任“九五”国家863计划LED信息光电子主题专家组专家、“十五”国家半导体照明专家组成员的中镓公司总经理张国义，对于LED产业的发展现状有着很深的认识。他表示，随着以中镓公司为代表的一批上游LED企业的发展，东莞LED产业链条的中上游环节将得到极大增强。“从目前情况看，发展形势越来越明朗，企业前进的后劲也很足”。

    据介绍，从技术特性上看，中镓公司目前已经具备行业领先的技术水平和实力。在传统的工艺制备中，外延片是在蓝宝石、碳化硅或硅的基底上生长出来的，然后再切割、打磨成LED芯片。但中镓公司选择在氮化镓基衬底上生长出外延片的路径，可以生产出更优质的外延片。为了强化技术优势，该公司还收购一家韩国公司并吸收其技术，斥资4000多万元从德国爱思强公司进口两台用于外延片制备的MOCVD设备。“氮化镓基衬底材料具有‘三高’特点，即技术高、难度高、价格高，因此可以带来更高的利润率并且前景广阔。”中镓公司高级工程师孙永健表示，中镓公司独创出在氮化镓基衬底上生长出外延片的技术，在生产氮化镓基衬底材料的同时，为了在价格和性能上取得平衡，还研制出复合衬底材料，“这是一个折衷的办法，价格要比氮化镓基衬底低，但是技术原理相似，性能也比目前市场上的衬底材料要好很多。”主攻LED上游环节技术的企业在东莞乃至珠三角并不多见，类似中镓公司这样拥有衬底材料领先技术的企业在全国更是寥寥无几。“中国LED产业的发展趋势必定是由下游环节向上游环节转移。中镓公司在这方面已经走在前面。”孙永健表示，这正是中镓公司主攻衬底材料的原因。“技术就是王道，有了技术自然就拥有了市场。”中镓公司市场营销部门负责人表示，该公司在市场上已受到广泛关注，“中镓在氮化镓基衬底技术应用生产前，已经通过技术人员在国内外学术会议上对这一技术进行了展示，在业界树立了口碑。这种影响为开拓市场打下坚实基础，从目前各方面反馈情况看，优势正在不断扩大，发展前景也被普遍看好。”