随着国家照明工程的起步，国内LED芯片设备的巨大需求再次引起了国外半导体设备生产商的积极响应，他们日益重视中国这个巨大的市场。但是，这里面也存在着一个隐忧，国外芯片设备高昂的价格，相对制约了国内企业的规模化、产业化发展，也消耗了国家大量宝贵的外汇，同样也挤占了国内设备生产商的发展空间。目前我国内地在LED上游差距非常大，主要指MOCVD处延材料水平不高，规模不大，投入不够，人才缺乏，在中低档比台湾规模小得多，高档基本没有。中游芯片生产技术一般，规模不够。下游封装总量不小，规模都不大，产品档次不高，技术含量及利润率不高。大多数厂家只能占据低端产品市场，这需要国家进一步加大投资和扶持的力度。当然，国内LED芯片设备生产厂家也在积极做这方面的工作，其中大部分都是原来生产半导体设备的厂商，有多年研制和生产LED设备的巨大潜力，也做出了很大成绩。在国内市场中也有自己的一席之地，并逐步为市场所接受。开发生产国产的LED生产设备，大力提高LED芯片设备的国产化率，不仅可以满足日益增长的市场需求，也可以降低LED产业化发展的投资门槛，客观上促进整个LED产业的发展。

    中国电子科技集团公司第十三研究所成立于1956年，是一所规模大、技术力量雄厚、专业结构配套的综合性半导体研究所。十三所不仅有LED的工艺生产企业河北立德光电公司，还有专业的半导体设备公司。设备公司的前身(微电子设备中心)组建于1963年，拥有雄厚的设计力量和加工力量。曾研制出我国第一台600KEV高能离子注入机、我国第一台高压单晶炉。承揽了多项国家攻关项目MOCVD、VPE、准分子光刻机等大型设备，并多次获得部级科技进步奖。先后研制生产了一百多种半导体工艺设备，在国内外半导体工艺线以及LED生产线上发挥着重要作用。比较有代表性的产品有光刻机、等离子去胶台、快速合金炉(4英寸和6英寸)、探针台、扩散炉和退火炉、清洗机以及正在开发的芯片倒装焊机等。使用单位中比较有影响的有南昌欣磊光电科技有限公司、厦门三安电子有限公司、河北立德光电公司、山东华光光电公司、南昌大学等一批国内的LED知名企业和科研院校，不仅解决了企业的设备需求，也为企业节省了外汇，同时也锻炼了我们的设备研发队伍，掌握了LED生产设备需求特殊性，开发出适销对路的可靠设备。总之，中国的LED产业需要包括LED生产企业、设备制造企业以及国家等多方面的努力。才可以迅速地成长起来，并在国际大环境中占有自己的一席之地。